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質(zhì)量流量顯示儀報價(jià)高性?xún)r(jià)比的選擇 北京曉韜科技有限公司

2021-06-21







氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC)用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制;氣體質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter縮寫(xiě)為MFM)用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工,冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復性好。






質(zhì)量流量控制器的原理是什么

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門(mén)和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結構圖見(jiàn)圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無(wú)需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門(mén),閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。






怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位?

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來(lái)表示。這意味著(zhù),這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。






流量積算儀的特點(diǎn)有哪些?

流量積算儀,顯示采用大屏幕,全點(diǎn)陳液晶帶背光,中文顯示,通過(guò)簡(jiǎn)單編程測量飽zhi和dao蒸氣,過(guò)熱蒸氣和液體及一般氣體的流量參數,實(shí)現壓力自動(dòng)補償,溫度自動(dòng)補償,溫壓自動(dòng)補償等,同時(shí)可測量熱水,飽和蒸氣和過(guò)熱蒸氣的熱參數,實(shí)現壓力自動(dòng)補償熱焓等還可以查詢(xún)日報表,月報表和停電時(shí)間記錄,能帶定量控制,是國內比較先進(jìn)流量積算儀。

它屬于二次儀表,就類(lèi)似于信號處理輸出裝置。不能單獨的稱(chēng)為流量計。用在計算流量的工程上,常用如蒸汽流量計量等。

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